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一、ftir全称

:FTIR傅里叶变换红外光谱用于半导体制造。FTIR还是一种利用红外光谱，通过傅里叶变换分析杂质浓度的光谱分析仪器。傅里叶变换红外光谱(FTIR)是一种红外光谱技术，用于获得固体、液体或气体的吸收和发射光电导或拉曼散射。光谱分析仪：

目的：对于成熟用户，日常测量包括：A.BPSG/PSG.中磷和硼含量的预测，芯片中氧含量和碳含量的预测，外延厚度的测量。更高级的应用包括：氮化硅中氢含量的预测。2、多晶硅中氧含量的预测光致抗蚀剂特性的分析。

FTIR是一种非常方便的分析仪器，标准的建立是整个测量的重点，因为光学原理和芯片条件(即晶圆背面加工条件)都是用来影响测量结果的。目前所有的红外光谱仪都是傅里叶变换，光谱仪主要由光源(硅碳棒、高压汞灯)、迈克尔逊干涉仪、探测器和干涉仪组成。用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱，包括以下步骤：

1、分别采集背景(无样品)和样品的干涉图；2、分别通过傅里叶变换将干涉图转换成单束红外光；3、将样品的单束光谱除以背景的单束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。

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